芯源微：浸没式高产能涂胶显影机数据均达客户量产目标

  36氪得悉，芯源微在承受调研时表明，此前公司首台浸没式高产能涂胶显影机顺畅运付客户现场，并完成了各项工艺验证及光刻机联机产能验证。机台与世界干流光刻机联机作业，完成了客户端十余款光阻、多层layer量产验证，数据均到达客户量产目标。浸没式高产能涂胶显影机的发布，标志着公司在前道涂胶显影范畴完成了对28nm及以上一切工艺节点的全掩盖，就可以完成全面国产代替。

  36氪得悉，深交所向通宇通讯宣布监管函称，近期，公司在互动易渠道对触及“CPO”及“ChatGPT”等商场热门概念问题进行答复称，“针对CPO产品技能，公司深圳光为子公司已有布局和研讨，相关研制样品现已部分客户测验认证，估计下一年能轻松完成量产。”但根据公司2月17日发表的关于对深交所重视函的回复，部分客户正在对相关这类的产品进行测验认证而非经过测验认证。公司在互动易渠道的答复内容不精确、不谨慎、不客观，有关信息和危险提示不充分、不精确、不完整。