七星电子立式氧化炉交给本乡最大芯片制作商

  近来，七星电子（002371）新一批12吋立式氧化炉，顺畅交给中芯世界(北京) 28纳米出产线吋立式氧化炉完成出售以来，产品再次使用于国内工艺技能最先进的集成电路出产线，标志着七星电子在热成膜配备技能上到达世界领先水平，具有了为国内集成电路出产线供给配套的才能。

  资料显现，立式氧化炉是半导体集成电路制作前道工艺中的要害设备，用于在硅片外表热成长具有高质量、安稳的氧化物薄膜，在外表钝化、栅氧或存储器单元结构中的介质资料等工艺流程中皆有使用。

  七星电子高层表明，公司依托国家科技严重专项（02专项）的支撑，成功研发出具有彻底自主知识产权的12吋氧化炉、退火炉等5个产品系列。公司12吋氧化炉已连续使用于中芯世界、上海华力、武汉新芯等国内干流集成电路厂商的出产线，设备在要害工艺目标、可靠性、安全性等方面，均使用户得到满意出产的根本工艺的实践要求，取得用户杰出点评。

  公司内部的人表明，七星电子作为一家以半导体集成电路制作设备和高精密电子元器件为根本的产品，集研发、出产、出售及技能服务于一体的大型归纳性高科技公司，经过50多年的前史传承和持续不断的开拓创新，公司在半导体集成电路制作设备及特种电子元器件等战略范畴，完成了技能及产品的两层打破，尤其是在半导体集成电路设备范畴，先后承当了集成电路立式氧化炉、清洗机、LPCVD(低压化学气相淀积)设备、气体质量流量控制器等国家科技严重专项研发使命。未来，七星电子将持续致力于打造集成电路制作设备和高精密电子元器件范畴的自主民族品牌，完成企业价值与社会价值的共赢。

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